【摘 要】
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提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器．利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性．分析表明：当腔长为（2k＋1）λ／4时，反射光强取极大值；当腔长为2kA
【机 构】
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重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆大学微系统研究中心
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提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器．利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性．分析表明：当腔长为（2k＋1）λ／4时，反射光强取极大值；当腔长为2kA／4时，反射光强取极小值；通过改变腔长可以实现显示．光源谱宽越窄，衬比度越高；干涉级次越低，衬比度越高；衬比度随反射率的增加而减小．借助Ansys软件仿真分析了调制器的驱动特性．加工了器件并搭建实验装置进行了动态响应特性测试实验．结果表明，该调制器具有驱动电压低至3．2V，响应速度约为5kHZ的良好驱动特性．实验结果初步验
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