【摘 要】
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激光诱导原子层加工技术是近两年提出的新兴微细加工技术,本文对激光诱导原子层外延生长、原子层刻蚀、原子层掺杂等主要技术及其对能带工程的促进作用作了概要介绍。
【机 构】
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集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区
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激光诱导原子层加工技术是近两年提出的新兴微细加工技术,本文对激光诱导原子层外延生长、原子层刻蚀、原子层掺杂等主要技术及其对能带工程的促进作用作了概要介绍。
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