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人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影响沉积速率和效率.为此我们通过试验,研究了决定沉积速率和沉积效率的主要因素,如预制棒表面温度、SiCl4流量和SiO2颗粒的温度等.
光纤制备中的外汽相沉积工艺研究
【摘 要】
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人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影响沉积速率和效率.为此我们通过试验,研究了决定沉积速率和沉积效
【机 构】
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江苏法尔胜光子有限公司
【出 处】
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光纤与电缆及其应用技术
【发表日期】
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2004年4期
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