【摘 要】
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故障现象1:扩散炉在升温时,发现左端炉丝电压表指示过高,约30伏(正常值约为20伏)。调左端 PID 脉冲板的极限电位器时,中端炉丝电压表指示跟着左端炉丝电压表在变化。而调中端
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故障现象1:扩散炉在升温时,发现左端炉丝电压表指示过高,约30伏(正常值约为20伏)。调左端 PID 脉冲板的极限电位器时,中端炉丝电压表指示跟着左端炉丝电压表在变化。而调中端 PID 脉冲板的极限电位器时,左端炉丝电压表指示也在跟着变。这时,如把左边的 PID脉冲板拔掉,左端炉丝电压表仍然有近20伏指示。同样,当左端插上 PID 脉冲板,中端拔掉
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