基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台系统及控制方法的研究

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介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台,该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析,使用自制的电容位移传感器进行位移检测,采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制,结果表明:该控制方法既具有开环控制的稳定性,又具有闭环控制高精度的特点。实验证明了该方法的有效性。
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