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MEMS梳齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器，具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点。首先探讨了梳齿传感器的工作原理，随后介绍了使用梳齿传感器有效检测微动工作台位移的方法，并进行了结构失效和梳齿电极不平行失效的可靠性分析。通过采用这种传感器可以达到提高微位移定位平台系统的集成度、精度、分辨率和减小定位平台系统体积的目的。