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电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高。较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备方面的应用,并对其发展趋势进行展望。
含氟电子气体纯化方法探讨与展望
【摘 要】
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电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高。较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备
【机 构】
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中化近代环保化工（西安）有限公司
【出 处】
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有机氟工业
【发表日期】
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2018年01期
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