【摘 要】
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大幅降低单晶硅的生产成本是光伏行业急需解决的难题之一。本文采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉的热场结构进行了优化并分析了其对加热效率、单晶炉能耗和晶体氧含量
【机 构】
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北京交通大学中国产业安全研究中心博士后科研工作站,北京工业大学
【基金项目】
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国家自然科学基金（71473010）
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大幅降低单晶硅的生产成本是光伏行业急需解决的难题之一。本文采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉的热场结构进行了优化并分析了其对加热效率、单晶炉能耗和晶体氧含量的影响。结果表明,随加热器内径的减小,加热器对石墨坩埚的加热效率逐渐提升,进而使加热器的功率大幅下降;同时,熔体中的对流也受到抑制,减小了对流对坩埚壁的冲刷,降低了晶体中的氧含量。当加热器内径为550 mm时,单晶炉的功率降低了25.7%,晶体中的氧含量降低了27.1%,为进一步降低单晶硅的生产成本提供了依据。
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