【摘 要】
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以WF6为前驱体,采用化学气相沉积法(CVD)在纯铜基体上沉积出钨涂层。利用光学显微镜(OM)和扫描电镜(SEM)分析研究钨制品组织缺陷的形成。结果表明:反应物浓度起伏对化学气相
【机 构】
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北京理工大学材料学院,中国航天员科研与训练中心
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以WF6为前驱体,采用化学气相沉积法(CVD)在纯铜基体上沉积出钨涂层。利用光学显微镜(OM)和扫描电镜(SEM)分析研究钨制品组织缺陷的形成。结果表明:反应物浓度起伏对化学气相沉积钨的显微组织具有显著影响。当n(WF6):n(H2)≥1:3时,沉积物为柱状晶组织;当n(WF6):n(H2)<1:3时,该沉积层晶粒明显细化,显微组织为细晶层状结构。另外,沉积过程中杂质形状也显著影响沉积层的显微组织。当基体表面存在一维杂质时,沉积制品表面产生明显的凸起,严重影响制品的表面质量和显微组织的均匀性;当沉积过程中存在零维杂质时,沉积层出现放射状的组织结构。
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