微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yjf1

【摘要】

：

采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样.采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并

【作者】

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陈吉安杨春生周勇丁桂甫王莉王明军张亚

【机构】

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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

Ni膜微桥 MEME技术力学特性

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103)

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采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样.采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190 GPa和87 MPa.与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合.

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