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从MOS图像传感器构成的粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对光栅测量系统的精度和跟踪速度这两个最重要的问题进行了理论分析。指出了限制系统精度与跟踪速度的因素，讨论了传感头加速度对系统精度的影响，为进一步研制高精度、高跟踪速度的粗光栅测量系统打下了基础。
粗光栅位移测量系统精度与跟踪速度分析
【摘 要】
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从MOS图像传感器构成的粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对光栅测量系统的精度和跟踪速度这两个最重要的问题进行了理论分析。指出了限制系统精度与跟踪速度的因素，讨论了传
【机 构】
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重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2005年B03期
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