【摘 要】
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采用直流反应溅射方法在P型Si（100）衬底上生长掺Al的ZnO薄膜，并研究退火处理对ZnO薄膜性质的影响。XRD测量结果表明，ZnO薄膜为六方纤锌矿结构，退火后薄膜的晶粒长大，晶界减少；暗态I-
【机 构】
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洛阳师范学院物理与电子信息学院,中国科学技术大学物理系
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采用直流反应溅射方法在P型Si（100）衬底上生长掺Al的ZnO薄膜，并研究退火处理对ZnO薄膜性质的影响。XRD测量结果表明，ZnO薄膜为六方纤锌矿结构，退火后薄膜的晶粒长大，晶界减少；暗态I-V特性曲线表明，ZnO／Si异质结具有明显的整流特性，退火后由于晶粒间界减少和空位浓度降低使反向漏电流降低1个量级；此外，退火处理能在一定程度上改善异质结的光伏效应，使其转换效率提高。
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