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溶胶-凝胶法制备二氧化钛薄膜的表征
溶胶-凝胶法制备二氧化钛薄膜的表征
来源 :温州大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asijhvherjknvn
【摘 要】
:
采用sol-gel方法,通过反复浸涂在载波片上制备出了一定厚度的二氧化钛薄膜.利用椭圆偏振测厚仪、X射线衍射仪、分光光度计、原子力显微镜等分析手段和方法,分别对二氧化钛薄
【作 者】
:
姜义军
杨昕宇
梁晓娟
向卫东
【机 构】
:
大连轻工业学院,温州大学应用技术学院,大连轻工业学院
【出 处】
:
温州大学学报
【发表日期】
:
2004年03期
【关键词】
:
溶胶-凝胶
TiO薄膜
浸涂
表征
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采用sol-gel方法,通过反复浸涂在载波片上制备出了一定厚度的二氧化钛薄膜.利用椭圆偏振测厚仪、X射线衍射仪、分光光度计、原子力显微镜等分析手段和方法,分别对二氧化钛薄膜的厚度、结构、可见紫外光透过率、表面形貌等进行了表征,并且初步分析了出现这些特征的原因.
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