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在声表面波谐振器件上滴定石墨烯氧化物,制成了一种基于石墨烯氧化物薄膜的声表面波湿敏检测器件。此器件表现出优异的湿敏传感性能,在宽湿度范围内(10%~98%RH),其灵敏度高达200 kHz/%RH以上;线性度超过0.9;温度系数小于0.5%RH/°C;吸湿与脱湿响应速度均小于2 s。结果表明:石墨烯氧化物具有优良的湿度敏感特性,有望应用于高性能湿度传感器的开发。