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期刊论文
多晶硅沉淀的灰色分析
多晶硅沉淀的灰色分析
来源 :沈阳航空工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Cary1986
【摘 要】
:
本文给出了灰色信噪比的定义,并将其用于多晶硅沉淀的数据分析,使表面缺陷和沉淀厚度在最佳条件下试验结果与灰色预估值更符合。
【作 者】
:
吴兆奇
吴晓明
【机 构】
:
承德教育学院
【出 处】
:
沈阳航空工业学院学报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
多晶硅沉淀
灰色信噪比
超大规模
集成电路
polycrystalline silicon precipitation
Grey Signal-to-nois
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本文给出了灰色信噪比的定义,并将其用于多晶硅沉淀的数据分析,使表面缺陷和沉淀厚度在最佳条件下试验结果与灰色预估值更符合。
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