多晶硅沉淀的灰色分析

来源 :沈阳航空工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Cary1986
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本文给出了灰色信噪比的定义,并将其用于多晶硅沉淀的数据分析,使表面缺陷和沉淀厚度在最佳条件下试验结果与灰色预估值更符合。
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