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InP表面等离子体CVD淀积SiO2膜的界面结构及C—V特性
InP表面等离子体CVD淀积SiO2膜的界面结构及C—V特性
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jitic
【摘 要】
:
报道了以正硅酸乙酯(TEOS)为源,采用等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)技术在InP表面低温生长SiO2钝化膜。对SiO2/InP界面态进行了X射线光谱(XPS)分析和C-V特性研究。
【作 者】
:
戴国瑞
管玉国
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
半导体材料
半导体工艺
钝化
界面态密度
Semiconductor Material
Semiconductor Technology
Passivation
【基金项目】
:
吉林省科委资助
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报道了以正硅酸乙酯(TEOS)为源,采用等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)技术在InP表面低温生长SiO2钝化膜。对SiO2/InP界面态进行了X射线光谱(XPS)分析和C-V特性研究。
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