【摘 要】
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研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向
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研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大.通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响.在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的金字塔和圆顶形量子点.结果表明,通过调节SiGe岛中的Si组分,可以实现对SiGe岛形状和尺寸的控制.
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