【摘 要】
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三维3D ES势垒直接影响着层间扩散,在Cu（111）和Cu（100）面2D ES势垒和3D ES势垒是不同的。本文主要研究了基于（1＋1）维KMC模型,在这两个特殊的晶面上Cu薄膜的同质外延生长。观察两个面
【基金项目】
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National Natural Science Foundation of China（61271127）
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三维3D ES势垒直接影响着层间扩散,在Cu（111）和Cu（100）面2D ES势垒和3D ES势垒是不同的。本文主要研究了基于（1＋1）维KMC模型,在这两个特殊的晶面上Cu薄膜的同质外延生长。观察两个面的生长情况,发现随着温度的增加薄膜的粗糙度逐渐减小,由于Cu（111）表面2D ES势垒较小,所以Cu（111）面粗糙度的下降的速度比Cu（100）要快,Cu（111）表面更有利于薄膜的生长。对于纳米棒的应用,在生长时间较短时两个面的生长速率逐渐减小,但是Cu（100）面的生长速度比Cu（111）面更
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