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合成了几种N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯，它们在常用的溶剂中有良好的溶解性，且具有良好的热稳定性。以聚乙二醇做成膜树脂，测定了这些化合物在膜层中的紫外吸收强度，表明它们在193nm处具有适当的吸收和良好的透明性。以254nm低压汞灯作曝光光源，研究了这些化合物的光解性质和成像性质。
一种新型的193nm光致抗蚀剂用光产酸剂的性质分析
【摘 要】
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合成了几种N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯，它们在常用的溶剂中有良好的溶解性，且具有良好的热稳定性。以聚乙二醇做成膜树脂，测定了这些化合物在膜层中的紫外吸收强度，表明它们在
【机 构】
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中国环境管理干部学院环境科学系,北京师范大学化学系
【出 处】
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黑龙江大学自然科学学报
【发表日期】
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2007年1期
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