【摘 要】
：
为得到降低摩擦副表面磨损所需的微小凹坑阵列结构,提出电解转印法加工凹坑阵列的工艺方法。对电解转印法加工过程进行有限元仿真,分析光刻胶膜厚度对凹坑尺寸和形状的影响。
【机 构】
：
南京航空航天大学机电工程学院,南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
论文部分内容阅读
为得到降低摩擦副表面磨损所需的微小凹坑阵列结构,提出电解转印法加工凹坑阵列的工艺方法。对电解转印法加工过程进行有限元仿真,分析光刻胶膜厚度对凹坑尺寸和形状的影响。用光刻的方法制作尺寸均一,单个孔径为100μm的阴极平板。进行微细电解加工试验,试验分析脉冲电源频率和脉冲占空比对加工结果的影响。结果表明,采用电解转印法加工微小凹坑阵列结构,可以获得平均直径为200μm,深度10μm的凹坑阵列。
其他文献
今年，为恢复发展粮食生产，中央出台了一系列扶持农业发展的政策措施，对农民购置农机具实行直接补贴首次列人了扶持政策范围。这将给农机化事业的发展注人强大动力。但同时也给我
<正> 从国际市场看,2002年工程机械销售出现滑坡,惟有中国一枝独秀,发达国家产品必然要通过种种途径涌向中国市场。预计“十五”后期我国工程机械市场增速将逐步减缓,中国企
针对产品设计过程中的多学科冲突解耦问题，提出一种鲁棒的协同决策方法。该方法采用区间形式表示不确定性的设计参数并基于非合作博弈理论将多学科协同决策描述成基于区间的约
<正> 一年前,谁也不知道“联发”是啥,如今只要提到“联发”手拖,即使是在强手如林的江苏农机市场,也无人怀疑“联发”乃生产手拖的后起之秀！从无到有,在不到一年的时间里,1.5
为满足航空、航天、冶金等领域大间隙静密封要求,建立磁性液体静密封试验台,设计出磁性液体静密封试验件。在试验台上对磁性液体静密封进行深入研究,通过试验得出磁性液体静
<正> 自加入WTO后,我国农机市场更加密切了与国际市场的连接,这为价格性能比较高的我国拖拉机产品提供了广阔的市场。据机械工业统计学会拖拉机分会提供的资料表明,2002年1～11
以水下机器人用多轴力传感器的压力平衡结构为研究对象,基于液体的可压缩性,根据弹性薄壳力学分析,选择长壳理论研究软囊变形,并对其进行修正。指出软囊变形所引起的额外轴向
以被动关节自由的欠驱动机器人为研究对象,对其最优运动规划与轨迹跟踪控制问题进行研究,控制目标为实现欠驱动机器人关节的任意位置控制。对欠驱动机器人系统的可控性条件进