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本文介绍了表面粗度测量的研究动向及各种测量方法目前所达到的水平，并重点评述了扫描型隧道显微镜、光触针、光散射等几种非接触测量方法的特点。
表面粗度测量的研究动向
【摘 要】
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本文介绍了表面粗度测量的研究动向及各种测量方法目前所达到的水平，并重点评述了扫描型隧道显微镜、光触针、光散射等几种非接触测量方法的特点。
【机 构】
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天津理工学院自动化系,东京大学工学部
【出 处】
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天津理工学院学报
【发表日期】
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1994年1期
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