【摘 要】
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为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
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为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾.其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题.计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数.主控制计算机可向双端
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