电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

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无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使 Oil-free ultra-high vacuum technology has its special significance for the development and production of vacuum devices. From the available information, oil-free ultra-high vacuum exhaust not only can improve the emission performance of the tube, improve the pressure resistance, high frequency performance, so that the tube pass rate and excellent product rate increase, but also shorten the tube row Gas time, improve the exhaust environment, not afraid of a sudden power outage and so on. Now widely used in the tube exhaust
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