【摘 要】
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一、发明的特点本发明的液相外延生长装置具有以下特点: (1) 在由外管和内管组成的双层管的内管中放置液相外延生长器具。内管和外管之间只有很小的间隙可以使气体流通,而且
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一、发明的特点本发明的液相外延生长装置具有以下特点: (1) 在由外管和内管组成的双层管的内管中放置液相外延生长器具。内管和外管之间只有很小的间隙可以使气体流通,而且使内管的一端与汞蒸汽源相通,在外管的周围有几个
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