【摘 要】
：
介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压
【机 构】
：
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
论文部分内容阅读
介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体式结构和柔性铰链,将驱动系统与定位工作台隔离,从而有效减少了压电陶瓷拨爪电机在驱动时产生的高频震动对定位精度的影响。固定在工作台上的直光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。经测试,工作台可以实现0-200mm范围,10nm分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。
其他文献
扫描隧道显微镜是高精度纳米级表面测量仪器,由于扫描隧道显微镜工作时的隧道间隙在几个纳米左右,外界任何微小的随机振动传递到仪器都会对测量结果产生影响,失去被测物表面
意法半导体宣布,其近场通信（NFC）技术将助力TCL通讯新发布的Alcatel 3V智能手机。该手机目前仅面向欧洲市场。Alcatel 3V智能手机的开发重点是通过NFC功能改进用户体验、提升操
<正>CEVA是一家专注于智能互联设备的全球领先信号处理IP授权公司,不断与世界各地的半导体企业和OEM厂商合作,创建高功效、智能化的联网设备,用于包括移动通信、消费类电子、
在CITE2018＂数字经济前沿论坛＂上,工业和信息化部副部长罗文出席论坛并作主旨演讲。中国科学院院士黄维、中国工程院院士戴琼海、博通有限公司首席执行官陈福阳、紫光集团有限
为FPGA应用设计优秀电源管理解决方案不是一项简单的任务,相关技术讨论有很多。本文一方面旨在找到正确解决方案并选择最合适的电源管理产品,另一方面则是如何优化实际解决方
当我坐在电动汽车上踩下加速踏板，时速在3秒之内就能从0飙升到近100公里——我非常享受这个过程。正如我驾车疾驰在高速公路快车道上，而新一代技术将载着我们驰骋在大数据公路的快车道上。 畅想一下，新技术将影响着我们未来的工作和生活： 汽车组装生产线上将重新配置协作机器人，由它们来组装不同型号的车辆。这将在降低成本的同时大大提高生产力，发挥竞争优势。今天，重置一个这样的工厂可能需要几年的时间。 机
随着电子系统中传感器和信号源的快速增加,使得设备设计师们可以在系统MCU或传感器融合协处理器中加入更多的模拟信号通道。尤其是在日益发展的小型物联网领域中更是如此。
20多年前，我曾在北京采访过著名指挥家李德伦先生。起因却是张效东，因为张效东是他的弟子。记得那天，李德伦先生正在指挥中央乐团排练柴可夫斯基的《第五交响曲》。随着李德伦先