【摘 要】
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建立一种新的Si基位置敏感探测器（PSD）光生电流理论模型，导出了PSD的光生电流、光谱灵敏度的表达式；研究了PSD光敏面各层厚度和SiO2薄膜厚度对PSD波长响应灵敏度的影响，认为p层的
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,安徽师范大学物理与电子信息学院
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建立一种新的Si基位置敏感探测器（PSD）光生电流理论模型，导出了PSD的光生电流、光谱灵敏度的表达式；研究了PSD光敏面各层厚度和SiO2薄膜厚度对PSD波长响应灵敏度的影响，认为p层的厚度主要影响PSD在短波段的响应度，而耗尽层对PSD的中长波响应有着很大的影响；设计并制造了二维近红外枕形PSD，对其进行实际测试，其光谱响应峰值波长为920nm，灵敏度达到0．626A／W。
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