利用高频Plasma CVD在蓝宝石衬底上生长 立方GaN缓冲层及其光学性质

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:netbaby
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究了采用高频 Plasma CVD技术在较低温度下 (30 0— 40 0℃ )生长以 Ga N为基的 - 族氮化物的可行性 ,在蓝宝石衬底上生长了 Ga N缓冲层 .热处理后的光致发光谱和 X光衍射表明 ,生长的 Ga N缓冲层为立方相 ,带边峰位于 3.15 e V.在作者实验的范围内 ,最优化的 TMGa流量为 0 .0 8sccm (TMAm=10 sccm时 ) ,XPS分析结果表明此时的 Ga/ N比为 1.0 3.这是第一次在高 / 比下得到立方 Ga N.相同条件下石英玻璃衬底上得到的立方 Ga N薄膜 ,黄光峰很弱 ,晶体质量较好 The feasibility of growing Ga-based nitrides using high-frequency plasma CVD at a relatively low temperature (30 0-40 ° C) was studied, and a Ga N buffer layer was grown on a sapphire substrate. After heat treatment Photoluminescence spectra and X-ray diffraction showed that the growth of GaN buffer layer is cubic phase, with a peak edge located at 3.15 e V. In the experimental range, the optimal TMGa flow rate of 0.08sccm (TMAm = 10 sccm), XPS analysis results show that the Ga / N ratio at this time is 1.0 3. This is the first cubic Ga at the high / the ratio obtained under the same conditions GaN film on the quartz glass substrate, Huang Guangfeng Very weak, good crystal quality
其他文献
6月9日上午9点,湖南陶瓷技师学院2017年优秀毕业生作品&教师作品展隆重开幕。来自醴陵陶瓷名企的企业家、艺术家们出席了开幕式。本次展览展出作品有陶瓷茶具、餐具、釉下五
期刊
改革开放以来,随着我国经济水平的提高,我国工业化程度也越来越高,对能源的需求也越来越大,石油作为主要的工业能源之一,在当代工业生产乃至社会生活中发挥着不可替代的作用,
对使用 MOCVD方法在蓝宝石衬底上生长的典型 In Ga N样品进行了光致发光 (PL)、霍耳 (Hall)及扫描电镜 (SEM)测量 .结果表明 :适当的生长温度 (75 0℃ )提高了样品中 In的含
小细胞肺癌(small cell lung cancer,SCLC)发病率占肺癌的15%~20%,近年来欧美国家的发病率有所下降,我国目前尚无SCLC的临床流行病学资料.SCLC易发生血行转移,确诊时约2/3有远处转移,80%以上为胸腔内转移,故SCLC系全身性疾病已成不争的事实.SCLC对化放疗敏感,大部分患者初治效佳,但一旦复发转移,即产生继发性耐药,因此其5年总生存率低于非小细胞肺癌(NSC
2017年6月26日,湖南省醴陵市陶瓷烟花职业技术学校举办的“逐梦·匠心”陶瓷工艺及平面设计专业学生作品展暨陶瓷工艺专业群建设研讨会在大汉陶艺馆隆重开幕。省陶瓷行业协会
期刊
目的 探究蛋白激酶C(PKC)α-胞外调节蛋白激酶(ERK)1/2级联对支气管哮喘(简称哮喘)患者血清被动致敏的人气道平滑肌细胞(HASMC)周期蛋白D1(cyclinD1)、周期蛋白依赖性激酶(CD
石油开发行业中伴随着各种危险因素,在生产过程中经常,威胁施工人员的生命财产安全.本文对采油厂如何做好应急管理工作进行了相应的措施分析,希望对应急管理工作有所益处.
为提高劳动能力鉴定的科学性和准确性,对5年来鉴定的564例进行回顾性研究.  对象和方法在1999~2003年由温州市劳动和社会保障局组织的全市劳动能力鉴定资料中,笔者共接待各类精神病患者劳动能力鉴定564例.根据原始住院及门诊病历、诊断证明,依据劳动和社会保障部1999年制定的<职工非因工伤残或因疾病丧失劳动能力程度鉴定标准>(试行)[1],结合精神残疾分级评定,即社会功能缺陷筛选表[2](SD