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本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。
未来的传感器和执行器
【摘 要】
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本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。
【机 构】
：
沈阳市微电子技术开发应用公司
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
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1994年4期
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