【摘 要】
：
本文分析了金属薄膜反射率高对光刻精度的影响,提出用化学处理、氧化、氮化处理和沉积抗反射层等方法来降低金属薄膜的反射率,以提高金属薄膜的光刻精度。
In this paper, t
论文部分内容阅读
本文分析了金属薄膜反射率高对光刻精度的影响,提出用化学处理、氧化、氮化处理和沉积抗反射层等方法来降低金属薄膜的反射率,以提高金属薄膜的光刻精度。
In this paper, the influence of the high reflectivity of metal thin film on the lithography precision is analyzed. The methods of chemical treatment, oxidation, nitriding and deposition anti-reflective layer are proposed to reduce the reflectivity of the metal thin film to improve the lithography precision of the metal thin film.
其他文献
我喜欢的花是兰花.虽然它没有牡丹的国色天香、荷花的出污泥而不染,没有白玉兰花那么洁白如玉,没有梅花坚贞不屈的个性,也没有马蹄莲的纯洁和芍药的鲜艳夺目,但它以自己独特
田野葵花向阳开,校园绿树河边站,以生为本发展路,脚踏实地育人才.本文作者紧密联系工作实际,畅谈了构建乡镇小学可持续发展的新思路,值得大家予以适度关注和深层次探讨.
为了全面实施素质教育,更好地实践《义务教育新课程标准》,促进学生自主学习、特长培养和个性发展,深入推进我校英语课程改革,不断提升我校英语教学质量和整体办学水平,我校
现代教育技术的发展为我们的小学语文教学提供了很大的契机,我们教师应该在平时的教学中不断提高自身素质,利用现代教育技术构建更好的小学语文教学模式,这样才能更好地提高
田升林业局木材加工厂革命职工,遵照毛主席“自力更生”、“艰苦奋斗”的教导,发扬了敢想、敢干的革命精神,大搞利旧利废,克服了缺料、缺加工部件等困难,最近成
In accorda
阅读是学生学习英语知识的基本手段之一。要想提高初中英语阅读教学的实效性,我们就必须设置多元化的教学目标,鼓励学生形成积极自主的学习习惯和能力,并在课堂实践中时时训
有个教育家说过这么一句话:语文教学不是在帮孩子们“堆沙”,而是在帮孩子们“织网”.老师们通过纵向梳理教学体系,在明确学生教学任务的基础上,培养学生的阅读能力,小学三年
我有一个既温柔又严厉的妈妈.用“活火山”来形容妈妈最合适不过了,因为她时不时就会发火,而且预先也没有什么征兆.
等离子体刻蚀(PE)具有成本低、清洁、线条分辨率高以及容易实现工艺自动化等优点.近几年来,随着低温等离子体淀积氮化硅半导体器件表面钝化技术的普及推广,等离子体刻蚀工艺
不同于初中的英语教育,高中英语学习不仅关系到学生的高考升学,还关系到学生进入大学后的进一步英语学习,在人生中也起到很重要的作用,但传统的教育模式让高中英语教育变成纸