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采用维氏硬度计测试分析了蠕变对预变形的Super 304H奥氏体不锈钢硬度的影响,并利用透射电镜（TEM）结合能谱分析仪对析出相的形状、大小、分布特征、晶体结构以及化学成分进行了分析。分析结果表明：Super 304H不锈钢在蠕变过程中先发生强化现象后发生软化现象,随着蠕变时间的增加,析出相逐渐增多;在蠕变过程中,Super 304H不锈钢在晶界处析出不连续的面心立方的（Cr,Fe）23C6碳化物颗粒,在晶粒内部和晶体缺陷处析出的是面心立方的NbC颗粒。