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本文采用化学机械抛光方法，以SiO2作为抛光液的研磨介质，对76mmz切向的铌酸锂晶片的抛光进行了深入的研究。分析了影响铌酸锂晶片抛光效果的因素，通过优化工艺参数，使铌酸锂的表面粗糙度Ra达到0.387nm，平面面形误差小于4μm。
大直径铌酸锂晶片的化学机械抛光研究
【摘 要】
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本文采用化学机械抛光方法，以SiO2作为抛光液的研磨介质，对76mmz切向的铌酸锂晶片的抛光进行了深入的研究。分析了影响铌酸锂晶片抛光效果的因素，通过优化工艺参数，使铌酸锂的表
【机 构】
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南开大学弱光非线性光子学材料先进技术及制备教育部实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2006年1期
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