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离子束引起的在Al／Cr双层薄膜界面处的原子混合

来源 :原子与分子物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhuguangxinli

【摘 要】

：

用600keV的Kr~+离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0

【作 者】

：

吴美珍 刘惠珍 寿焕根 侯明东 

【机 构】

：

中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所上海市中国纺织大学基础部,上海市核子研究所

【出 处】

：

原子与分子物理学报

【发表日期】

：

1991年4期

【关键词】

：

离子束 薄膜 Al/Cr 原子 混合 界面 Ion beam mixing  Atomic mixing broadening radiation -enhan 

【基金项目】

：

全国自然科学基金资助项目

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论文部分内容阅读

用600keV的Kr~+离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0×10~(15)-2.5×10~(16)Kr~+/cm~2。用2.0MeVa粒子对轰击前后的样品进行了卢瑟福背散射(RBS)分析,发现界面处有明显的原子混合存在;当轰击剂量≥1.0×10~(16)Kr~+/cm~2时,RBS谱出现有明显的坪台,经拟合计算和x射线衍射(XRD)测量证实确有化合物A

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