巨磁电阻自旋阀多层膜的结构和磁性

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用磁控溅射镀膜方法,制成了巨磁电阻自旋阀多层膜Ta/NiFe/Cu/NiFe/FeMn/Ta。它具有优良的特性。其室温磁电阻比率MR〉2%,自由层矫元力Hcl〈160A/m,自由层零磁场漂Hf〈800A/m和钉 扎层交换场Hex≈20×10^3A/M。
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