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多晶硅生产装置氯硅烷渣浆连续处置技术
多晶硅生产装置氯硅烷渣浆连续处置技术
来源 :化工机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sa753159
【摘 要】
:
介绍了多晶硅生产副产物四氯化硅渣浆处置技术的起源和发展过程,通过对最早引入的间歇耙式处置工艺的介绍,引出桨式连续处置工艺,并通过比较突出了桨式连续处置工艺的特点和
【作 者】
:
郭辉
杨玫
王晓伟
【机 构】
:
天华化工机械及自动化研究设计院有限公司
【出 处】
:
化工机械
【发表日期】
:
2018年2期
【关键词】
:
多晶硅
氯硅烷渣浆
连续处置技术
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介绍了多晶硅生产副产物四氯化硅渣浆处置技术的起源和发展过程,通过对最早引入的间歇耙式处置工艺的介绍,引出桨式连续处置工艺,并通过比较突出了桨式连续处置工艺的特点和优势。
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