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1前言rn氮中硅烷标准气体是为电子工业、涂膜玻璃和金属镀膜等部门服务的重要特种气体之一.我们按照GB 5274-85技术要求,采用4升铝合金气瓶包装,研制了氮中硅烷气体标准物质,其浓度范围为2.0×10-2～20×10-2mol/mol.rn
氮中硅烷标准气体研制
【摘 要】
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1前言rn氮中硅烷标准气体是为电子工业、涂膜玻璃和金属镀膜等部门服务的重要特种气体之一.我们按照GB 5274-85技术要求,采用4升铝合金气瓶包装,研制了氮中硅烷气体标准物质,
【机 构】
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南京特种气体厂,南京,211113北京航空航天大学,北京,100083;
【出 处】
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化工标准·计量·质量
【发表日期】
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2001年12期
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