【摘 要】
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类金刚石薄膜材料（diamond-like carbon，简称DLC）作为一类非晶碳膜材料的统称，主要由sp3键（金刚石相）和sp2键（石墨相）的三维交叉网络混合而成，依制备方法不同可含有一定量氢，具有高硬度
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类金刚石薄膜材料（diamond-like carbon，简称DLC）作为一类非晶碳膜材料的统称，主要由sp3键（金刚石相）和sp2键（石墨相）的三维交叉网络混合而成，依制备方法不同可含有一定量氢，具有高硬度、低摩擦系数、高红外透光性、良好化学惰性和生物相容性等诸多优异性能，在海洋、航空航天、生物医用、微机电、汽车等领域具有广阔应用前景。然而，目前DLC研究领域中还存在高残余压应力、摩擦学不稳定和低成本大面积制备困难等问题，这使其应用受到严重限制。
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