【摘 要】
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为了实现对面板上缺陷精细分析和分类,设计了可见光波段、数值孔径为0.42的复消色差平场显微物镜和照明光学系统。通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择,优化出平场复消
【基金项目】
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深圳市海外高层次人才资金资助项目(KQTD2016053116451329)
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为了实现对面板上缺陷精细分析和分类,设计了可见光波段、数值孔径为0.42的复消色差平场显微物镜和照明光学系统。通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择,优化出平场复消色差物镜,使其MTF曲线接近衍射极限。采用科勒照明匀光方案,设计照明光学系统,并用Lighttools软件对照明光学系统进行仿真。实验表明,光学系统分辨率达到0.775μm,在成像视场范围内照明均匀性可以达到98%以上。设计结果与实际测试结果一致,可满足高精度面板检测使用要求。
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