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本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章，介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况，本刊将陆续发表，以飨读者。
超深亚微米(VDSM)Foundry(三)——各种存储器
【摘 要】
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本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章，介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况，本刊将陆续发表，以飨读者。
【机 构】
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中芯国际总裁兼执行长,中芯国际逻辑技术发展及制造中心副总裁,北京大学副教授
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2003年48期
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