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单片机在ECR等离子体刻蚀机上的应用
单片机在ECR等离子体刻蚀机上的应用
来源 :电气自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaoxuan1234
【摘 要】
:
介绍了智能化洗衣机的模糊控制器结构,分析了布质布量、水位、浑浊度等三种传感器的原理、结构及电路,提供了实用洗衣机模糊控制器的电气原理图及主要的软件流程图。
【作 者】
:
程健
史义才
吴志甫
【机 构】
:
合肥中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
电气自动化
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
集成电路
微机
等离子刻蚀机
应用
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介绍了智能化洗衣机的模糊控制器结构,分析了布质布量、水位、浑浊度等三种传感器的原理、结构及电路,提供了实用洗衣机模糊控制器的电气原理图及主要的软件流程图。
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