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日本电子公司开发出1种膜厚测量方法，主要采用迈克尔逊干涉仪，能正确测量膜厚，重现性良好。
膜厚测量方法
【摘 要】
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日本电子公司开发出1种膜厚测量方法，主要采用迈克尔逊干涉仪，能正确测量膜厚，重现性良好。
【出 处】
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国外传感技术
【发表日期】
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2004年4期
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