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根据近十年的工作实践，分析了Ｔ５１－２００／ＺＫ型金属离子注入机弗里曼离子源失效机理，着重讨论了以ＭｏＣｌ５为工作物质时的灯丝中毒现象。结合作者的工作经验，提出了减少灯丝中毒现象的一些具体措施。
弗里曼离子源灯丝中毒现象
【摘 要】
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根据近十年的工作实践，分析了Ｔ５１－２００／ＺＫ型金属离子注入机弗里曼离子源失效机理，着重讨论了以ＭｏＣｌ５为工作物质时的灯丝中毒现象。结合作者的工作经验，提出了减少灯丝中毒现象的一些具体措施。
【机 构】
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中国原子能科学研究院反应堆工程研究设计所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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1995年6期
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