【摘 要】
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采用多弧离子镀和磁过滤阴极电弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.研究了工艺参数对用Ti:Al=1:1的TiAl合金靶制备的Ti1-xAlxN涂层表观颜色的影响,以及以获得深色Ti1-xAlxN涂层
【机 构】
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采用多弧离子镀和磁过滤阴极电弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.研究了工艺参数对用Ti:Al=1:1的TiAl合金靶制备的Ti1-xAlxN涂层表观颜色的影响,以及以获得深色Ti1-xAlxN涂层为目的时工艺参数对涂层性能的影响.结果表明:不同工艺参数对Ti1-xAlxN涂层表观颜色的影响大小依次为基体偏压,真空度,沉积温度,霍尔离子源功率；离子镀Ti1-xAlxN涂层的膜基结合力较好,在脉冲偏压-150V、直流偏压-15V附近有硬度最高,在较高真空度、较高沉积温度、较高基体负偏压下制备的Ti1-xAlxN涂层的磨擦学性能较好.
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