TaN薄膜相关论文
本文研究了TaN薄膜在微波薄膜匹配负载器件中的应用.利用TaN薄膜设计了工作频率为DC-18GHz,承受功率10W的匹配负载1,工作频率为DC-......
期刊
热气动式电热驱动器件应用于办公打印和材料研究,其高可靠性微驱动基于液体发射,因此,相应的结构设计及材料要求都较高。其核心原......
TaN薄膜具有高硬度和高热稳定性等优点,在刀具涂层领域具有广阔的应用前景,同时高的电阻率使其在电子器件中作为薄膜电阻器和扩散......
我们成功合成了TaN薄膜原子层淀积的高纯有机钽先驱物并使其特性化,同时对这些先驱物的汽压和热稳定性进行了研究.根据汽压分析发......
随着卫星，雷达，通信，航天等技术的不断发展，促使微波器件和组件向着小型化、高频、大功率等方向发展。微波匹配负载作为微波电路组件和......
所有的微波系统均是由众多作用不同的微波元件和微波器件共同构成的。微波器件的小型化和集成化又是目前应用领域发展的热点问题。......
采用电子回旋共振增强磁控溅射在不锈钢基体上制备六方相TaN薄膜,并研究了气压及偏压对TaN薄膜结构、力学性能的影响.利用X射线衍......
基于功率分配思想和简化实频法设计了频率为DC~20 GHz,承载功率为40 W的阵列型微波薄膜匹配负载器件;采用丝网印刷工艺和射频磁控......
为了实现TaN薄膜换能元的低能化,设计制作了不同桥膜厚度、不同桥区尺寸、不同桥区形状的TaN薄膜换能元,依据GJB/z 377A-94感度试......
采用反应直流磁控溅射法在Al2O3陶瓷基片上制备TaAlN薄膜,通过调节复合靶Al/Ta面积比调节Al掺杂量,研究了Al/Ta面积比对TaAlN薄膜......
采用磁控溅射仪制备了ＴａＮ薄膜，研究了不同氮分压条件下ＴａＮ薄膜的成份、结构和力学性能。结果表明，氮分压在０．２＊１０＾－１Ｐａ时镀层由两相混合物正方的β－Ｔａ和面......
TaN薄膜是一种重要的高新技术材料，主要介绍了物理气相沉积法（PVD）、金属有机化学气相沉积法（MocvD）和原子层沉积法（A1D）制备TaN薄膜的工......
我们成功合成了TaN薄膜原子层淀积的高纯有机钽先驱物并使其特性化,同时对这些先驱物的汽压和热稳定性进行了研究.根据汽压分析发......
采用直流反应磁控溅射法制备了TaN薄膜，研究了薄膜厚度对TaN薄膜微观结构及电性能的影响。结果表明，薄膜厚度对TaN薄膜的表面形貌和......
基于实频法思想设计了Ka波段薄膜匹配负载的宽带匹配网络,并利用ADS和HFSS软件进行了仿真和优化。仿真结果表明,在32 GHz～40 GHz频......
通过在旋磁基片上集成结环行器和TaN功率薄膜负载,设计出了小型化的微波隔离器。利用电磁场仿真软件HFSS对设计进行建模、分析和改......
采用反应直流磁控溅射法在镍锌铁氧体基片上制备Cu掺杂的TaN薄膜。通过调节氮流量,研究了不同氮流量下Cu掺杂对TaN薄膜电性能的影......
基于被釉BeO陶瓷基片设计并制备了DC-20GHz薄膜电阻器。HFSS软件仿真结果表明,在该频率范围内,所设计薄膜电阻器的电压驻波比（VSWR）......
微波衰减器因其质量轻、体积小、易集成、使用频率高等特点而被广泛应用于现代微波通信系统和微波电路中。衰减器在微波系统中主要......
采用直流磁控溅射制备TaN薄膜，研究了热处理对TaN薄膜微结构及电性能的影响。结果表明，退火温度及退火时间都将影响薄膜的微结构及方......
采用直流反应磁控溅射法制备了TaN薄膜，研究了φ（N2）对薄膜的结构和性能影响。研究发现，在N2分压（体积分数）为9％时，多相共存的TaN薄膜表现......
采用直流磁控溅射法在Al2O3陶瓷基片上制备了TaN薄膜,研究了热处理温度和时间对TaN薄膜的方阻（R□）及电阻温度系数（TCR）的影响。研究发......
笔者以TaN薄膜中的残余应力为主要研究对象,分别从实验和理论上对薄膜中的残余应力进行了分析。所研究TaN薄膜由物理气相沉积的方......
在集成电路中,铜互连工艺需要沉积一层连续且保形性良好的铜阻挡层。氮化钽是一种过渡金属氮化物,由于其硬度高,导电性可控,对金属......
薄膜点火桥是火工品系统中的重要元件之一,在军事、航空、航天和民用领域都具有广泛的应用前景。本论文在TaN电阻膜桥上集成B/Ti反......
基于T型衰减网络结构设计并仿真了工作频率为DC~3GHz的微波薄膜衰减器,并采用磁控溅射法在BeO基片上制备了TaN微波薄膜衰减器。仿......
使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针......
医用金属支架是目前治疗血管狭窄的主要器械。但是,金属裸支架植入后腐蚀产物和病理反应均会影响其生物功能的正常发挥。对金属支......
采用磁控溅射技术制备一系列不同负偏压的TaN薄膜。分别采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、原子力显微镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨......
氮化钽薄膜具备很多过渡金属氮化物薄膜不具备的很多优良性能,尤其是TaN薄膜具有高热稳定性、低电阻率、高熔点、界面稳定、高硬度......
当今社会,星载、弹载系统中微波负载及器件的小型化和集成化是目前该领域的主要发展方向。在铁氧体基片上通过光刻工艺和沉积薄膜......
TaN薄膜具有宽电阻率、低电阻温度系数以及自钝化特性而被广泛应用于微波功率电阻器中。本文采用反应磁控溅射法制备TaN薄膜,研究......
当前，微波电路系统必须满足高强度对抗，高工作频率，高功率密度，小尺寸，小质量的要求。面对如此高要求的微波电路系统，唯有散热性能更好、......
红外场景产生器是红外仿真系统的核心,以电阻阵列作为红外发射源是发展红外场景产生器的主要技术之一,具有低功耗、大温度范围、高......
采用反应直流磁控溅射法在A12O3陶瓷基片上制备TaN薄膜，研究了氮流量（N2／（N2＋Ar））对TaN薄膜微结构及性能的影响。结果表明，随氮流量的增大，T......
基于旋磁基片设计并通过光刻工艺制作DC-10GHz微波电阻器。通过HFSS仿真设计制作DC-10GHz电阻器，采用磁控反应溅射制作TaN薄膜，电压......
设计并仿真了频率范围为DC-18GHz,功率负载为20W的微波功率薄膜电阻器,根据仿真结果,采用反应磁控溅射法制备了TaN微波功率薄膜电......
TaN薄膜电阻由于具有高的微波承受功率、低的电阻温度系数以及良好的化学稳定性，是目前常用的功率电阻。在Ar／N2混合气氛下，利用直流......
