ZnO陶瓷键合Cu电极技术的研究

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研究了Cu-ZnO陶瓷键合技术,并探讨了其作为电极用在线性ZnO陶瓷电阻器上对器件性能的影响,运用扫描电镜对Cu-ZnO陶瓷的键合结构进行了分析,测量了键合Cu电极后的接触电阻及器件耐电流冲击的稳定性,并与镀Cu、喷Al及烧Ag电极进行了分析对比。同时,研究了键合Cu电极的工艺对ZnO陶瓷本体电阻产生的影响。
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