【摘 要】
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简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例，并对以下微型系统分别进行了详细介绍：①小型化学
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简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例，并对以下微型系统分别进行了详细介绍：①小型化学分析系统；②空间研究用的微型仪器；③小型流体控制系统；④扫描探针系统；⑤静电和超声波微电机；⑥微型光－机械系统。
A brief overview of the advances in micromechanical technology, including surface and bulk silicon micromechanics, electrodeposition and bonding technologies. Many examples of micro-system design, production and application are given, and the following micro-systems are introduced in detail: ① small chemical analysis system; ② micro-instruments for space research; ③ small fluid control system; ④ scanning probe system ; ⑤ electrostatic and ultrasonic micro-motor; ⑥ micro-light - mechanical system.
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