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KLA-Tencor公司日前正式推出业界最新的覆盖计量解决方案——Archer AIM＋系统，该系统专门用于满足芯片制造商对65nm节点以下的光刻覆盖控制要求。Archer AIM＋基于作为业界基准的Archer加工平台，与KLA-Tencor的上一代Archer AIM系统相比，
KLA-Tencor将光刻覆盖控制扩展到65nm节点以下
【摘 要】
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KLA-Tencor公司日前正式推出业界最新的覆盖计量解决方案——Archer AIM＋系统，该系统专门用于满足芯片制造商对65nm节点以下的光刻覆盖控制要求。Archer AIM＋基于作为业界基准的
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年8期
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