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采用sol-gel工艺，以钛酸铅镧（PLT）作为晶种层，在Pt／TiO2／Si基板上，制备了锆钛酸铅镧（PLZT）薄膜。研究了有晶种层的PLZT薄膜的结晶温度及介电性能。结果表明：引入PLT晶种层的PLZT薄膜，在600℃热处理得到良好的钙钛矿结构，比无晶种层薄膜降低了约100℃；其相对介电常数为1177（1kHz），提高约60％，介质损耗为0．10～0．13，降低幅度最高可达40％～50％。