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本文介绍了一种全湿法，高活性的光刻胶去除溶剂，可以去除注入硬化的光刻胶，并具备对金属的兼容能力。
与金属兼容的离子注入光刻胶去除剂
【摘 要】
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本文介绍了一种全湿法，高活性的光刻胶去除溶剂，可以去除注入硬化的光刻胶，并具备对金属的兼容能力。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年11期
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