【摘 要】
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本文报导采用典型的微电子学厚膜工艺即丝网印刷法,制备Ba-Y-Cu-O系的陶瓷厚膜超导材料,研究了不同热处理温度及时间对厚膜材料性能的影响。实验证明,陶瓷超导材料的厚膜工艺
【机 构】
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中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,电子工业部第43研究所,中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学结构成分分析中心,中
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本文报导采用典型的微电子学厚膜工艺即丝网印刷法,制备Ba-Y-Cu-O系的陶瓷厚膜超导材料,研究了不同热处理温度及时间对厚膜材料性能的影响。实验证明,陶瓷超导材料的厚膜工艺设备简单,适合于大规模生产。用这种方法制备的厚膜超导材料已具有较高的临界超导转变温度:T_c(mid)=80K,T_c(ρ=0)=72.1K,而且工艺稳定,重复性好。
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