TiN/TiCN/Al2O3/TiN与TiN/TiCN/Al2O3/TiCNO多层涂层的组织性能比较

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【摘要】

：

目的对比TiN/TiCN/Al2O3/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiCNO两种多层涂层的组织性能。方法采用化学气相沉积(CVD)技术在硬质合金基体上沉积TiN/TiCN/Al2O3/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiCN

【作者】

：

沈同威朱丽慧

【机构】

：

上海大学材料科学与工程学院

【出处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2020年7期

【关键词】

：

TiCNO 多层涂层 CVD 微观组织力学性能摩擦磨损性能 TiCNOmultilayer coatingCVDmicrostructuremechanic

【基金项目】

：

国家重点研发资助项目(2016YFB0300403),美国Kennametal公司资助项目

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目的对比TiN/TiCN/Al2O3/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiCNO两种多层涂层的组织性能。方法采用化学气相沉积(CVD)技术在硬质合金基体上沉积TiN/TiCN/Al2O3/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiCNO两种多层涂层。通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析涂层的物相和组织形貌,采用纳米力学测试系统测试涂层顶层的硬度和弹性模量,利用显微维氏硬度计和划痕仪分别测量涂层的显微硬度和结合强度,利用往复式多功能摩擦磨损试验机研究涂层的摩擦磨损性能。结果顶层Ti

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